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A Process for Topographically Selective Deposition on 3D Nanostructures by Ion Implantation

artículo científico publicado en 2016

Area-Selective Atomic Layer Deposition of In2O3:H Using a μ-Plasma Printer for Local Area Activation.

artículo científico publicado en 2017

Area-Selective Atomic Layer Deposition of Metal Oxides on Noble Metals through Catalytic Oxygen Activation.

artículo científico publicado en 2017

Area-Selective Atomic Layer Deposition of SiO2 Using Acetylacetone as a Chemoselective Inhibitor in an ABC-Type Cycle.

artículo científico publicado en 2017

Atomic Layer Deposition of Cobalt Using H-, N-, and NH-Based Plasmas: On the Role of the Co-reactant

scientific article published on 05 September 2018

Atomic layer deposition of Pd and Pt nanoparticles for catalysis: on the mechanisms of nanoparticle formation

artículo científico publicado en 2015

Incomplete elimination of precursor ligands during atomic layer deposition of zinc-oxide, tin-oxide, and zinc-tin-oxide.

artículo científico publicado en 2017

Isotropic Atomic Layer Etching of ZnO Using Acetylacetone and O Plasma

artículo científico publicado en 2018

Nanopatterning by direct-write atomic layer deposition

artículo científico publicado en 2012

Nanoscale Encapsulation of Perovskite Nanocrystal Luminescent Films via Plasma-Enhanced SiO2 Atomic Layer Deposition

artículo científico publicado en 2020

Synthesis of a Hybrid Nanostructure of ZnO-Decorated MoS2 by Atomic Layer Deposition

artículo científico publicado en 2020

Tandem Core-Shell Si-Ta3N5 Photoanodes for Photoelectrochemical Water Splitting.

artículo científico publicado en 2016

The use of atomic layer deposition in advanced nanopatterning

artículo científico publicado en 2014

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