Area-Selective Atomic Layer Deposition of SiO2 Using Acetylacetone as a Chemoselective Inhibitor in an ABC-Type Cycle.
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2017 |
| Autoría |
autor: Alfredo Mameli Wilhelmus M. M. Kessels Bora Karasulu Adriaan Mackus |
| Fecha de publicación | 7 de septiembre de 2017 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |