Comparative study of trap-limited hydrogen diffusion in amorphous SiC, Si0.66C0.33N1.33, and SiN1.33films

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Descripción	artículo científico publicado en 2006
Autoría	autor: Michael Bruns
Fecha de publicación	26 de mayo de 2006
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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