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An N-Heterocyclic Carbene Based Silver Precursor for Plasma-Enhanced Spatial Atomic Layer Deposition of Silver Thin Films at Atmospheric Pressure

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Descripción artículo científico publicado en 2018
Autoría

autor: Nils Boysen  Q58811370  Thomas Riedl  Anjana Devi 

Fecha de publicación 8 de noviembre de 2018
Idioma
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