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Amorphous IGZO TFT with High Mobility of ∼70 cm2/(V s) via Vertical Dimension Control Using PEALD

artículo científico publicado en 2019

Autoría


Detalles de la obra

Fecha de publicación: 17 de octubre de 2019
Idioma: inglés
País de origen: Desconocido

Estado de los derechos de autor

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