Ultrathin and Conformal Initiated Chemical-Vapor-Deposited Layers of Systematically Varied Surface Energy for Controlling the Directed Self-Assembly of Block CoPolymers

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Descripción	artículo científico publicado en 2018
Autoría	autor: Priya Moni  Paul F. Nealey  Moshe Dolejsi  Gleason KK
Fecha de publicación	2 de abril de 2018
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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