Atomic layer deposition, characterization, and growth mechanistic studies of TiO2 thin films
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| Descripción | artículo científico publicado en 2014 |
| Autoría |
autor: Esa Puukilainen Timothee Blanquart Markku Leskela Mikko Ritala Mikko Kaipio |
| Fecha de publicación | 18 de junio de 2014 |
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| País de origen | |
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