Combining focused ion beam and atomic layer deposition in nanostructure fabrication
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| Descripción | artículo científico publicado en 2014 |
| Autoría |
autor: Marko Vehkamäki Zhongmei Han Markku Leskela Mikko Ritala |
| Fecha de publicación | 20 de febrero de 2014 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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