Long-term bilayer encapsulation performance of atomic layer deposited Al₂O₃ and Parylene C for biomedical implantable devices

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Descripción	artículo científico publicado en 2013
Autoría	autor: Xianzong Xie  Loren Rieth
Fecha de publicación	6 de junio de 2013
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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