Three-dimensional electron energy deposition modeling of cathodoluminescence emission near threading dislocations in GaN and electron-beam lithography exposure parameters for a PMMA resist

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Descripción	artículo científico publicado en 2012
Autoría	autor: Niels de Jonge  Hendrix Demers  Matthew R Phillips
Fecha de publicación	12 de noviembre de 2012
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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