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The atomic layer deposition array defined by etch-back technique: a new method to fabricate TiO2 nanopillars, nanotubes and nanochannel arrays

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Descripción artículo científico publicado en 2012
Autoría

autor: Gregory Pandraud 

Fecha de publicación 6 de noviembre de 2012
Idioma
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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