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Chemical vapour deposition of In2O3 thin films from a tris-guanidinate indium precursor

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Descripción artículo científico publicado en 2011
Autoría

autor: Mikko Heikkilä  Markku Leskela  Seán T Barry  Mikko Ritala  Peter G Gordon 

Fecha de publicación 16 de agosto de 2011
Idioma
País de origen
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