Enhanced wet etching of patterned GaN with ion implantation
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2011 |
| Autoría |
autor: Jianming Xue Paul K. Chu |
| Fecha de publicación | 1 de diciembre de 2011 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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