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Transmission electron microscopy characterization of the erbium silicide formation process using a Pt/Er stack on a silicon-on-insulator substrate
artículo científico publicado en 2006
Autoría
Detalles de la obra
Fecha de publicación:
1 de octubre de 2006
Idioma:
Desconocido
País de origen:
Desconocido
Estado de los derechos de autor
Dominio público