Rapid photo-deposition of silicon dioxide films using 172 nm VUV light
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Philippe Bergonzo |
| Fecha de publicación | 31 de marzo de 1994 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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