Probe-Based Nanolithography: Self-Amplified Depolymerization Media for Dry Lithography
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Jane Frommer Urs Duerig Bernd Gotsmann Olivier Coulembier Philippe H. Dubois Armin W Knoll |
| Fecha de publicación | 12 de enero de 2010 |
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| País de origen | |
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