Growth of high‐quality 3C‐SiC epitaxial films on off‐axis Si(001) substrates at 850 °C by reactive magnetron sputtering
| Imagen |  |
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Erik Janzén Anne Henry |
| Fecha de publicación | 8 de agosto de 1994 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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