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High quality 4H‐SiC epitaxial layers grown by chemical vapor deposition

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Descripción
Autoría

autor: Nguyen Tien Son  Olof Kordina  Erik Janzén  Anne Henry 

Fecha de publicación 13 de marzo de 1995
Idioma inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor Desconocido
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