Removal of polishing-induced damage from 6H-SiC(0001) substrates by hydrogen etching
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Erik Janzén |
| Fecha de publicación | septiembre 1996 |
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| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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