High-Accuracy Analysis of Nanoscale Semiconductor Layers Using Beam-Exit Ar-Ion Polishing and Scanning Probe Microscopy
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| Descripción | artículo científico publicado en 2013 |
| Autoría |
autor: Oleg Kolosov Ana M. Sánchez Alexander J Robson Manus Hayne Robert J Young |
| Fecha de publicación | 10 de abril de 2013 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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