Growth Mechanism of SiC Chemical Vapor Deposition: Adsorption and Surface Reactions of Active Si Species
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Olof Kordina Lars Ojamäe Erik Janzén Örjan Danielsson |
| Fecha de publicación | 22 de diciembre de 2017 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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