Comparison of mechanical properties and composition of magnetron sputter and plasma enhanced atomic layer deposition aluminum nitride films
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Harri Lipsanen Jaakko Julin Jarkko Etula Timo Sajavaara Riikka L. Puurunen Alexander Pyymaki Perros |
| Fecha de publicación | septiembre 2018 |
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| País de origen | |
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