Real‐time,insitumonitoring of surface reactions during plasma passivation of GaAs
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 1993 |
| Autoría |
autor: Yves Chabal Eray S Aydil |
| Fecha de publicación | 14 de junio de 1993 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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