Structural analysis of buried AlN thin films formed by nitrogen implantation into microelectronics grade aluminium
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Alejandro Pérez-Rodríguez Joan-Ramon Morante Josep Montserrat Luisa Calvo |
| Fecha de publicación | febrero 1994 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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