Anisotropic etch-stop properties of nitrogen-implanted silicon
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Alejandro Pérez-Rodríguez Joan-Ramon Morante Josep Montserrat Jaume Esteve |
| Fecha de publicación | diciembre 1994 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |