MEMS with integrated CMOS read-out circuit based on sub-micrometric cantilevers array for multiple sensing (Invited Paper)

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Autoría	autor: Nuria Barniol  Francesc Pérez-Murano  Gabriel Abadal  Jaume Esteve
Fecha de publicación	1 de julio de 2005
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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