Nanomechanical Mass Sensor for Spatially Resolved Ultrasensitive Monitoring of Deposition Rates in Stencil Lithography
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| Descripción | artículo científico publicado en 2009 |
| Autoría |
autor: Nuria Barniol Francesc Pérez-Murano Marc Sansa Gabriel Abadal Arantxa Uranga |
| Fecha de publicación | 1 de febrero de 2009 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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