Post-CMOS Integration of Nanomechanical Devices by Direct Ion Beam Irradiation of Silicon
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Gemma Rius Francesc Pérez-Murano Xavier Borrisé Jordi Llobet |
| Fecha de publicación | enero 2011 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |