Bottom-up silicon nanowire resonators for nanomechanical sensing: Controlled fabrication technology and high-sensitivity frequency modulation transduction

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Descripción
Autoría	autor: Francesc Pérez-Murano  Marc Sansa  Marta Fernandez-Regulez
Fecha de publicación	junio 2013
Idioma
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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