Effects of ion bombardment and gas incorporation on the properties of Mo/a-Si:H multilayers for EUV applications
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Laura E Depero Elza Bontempi Valentino Rigato Alessandro Patelli |
| Fecha de publicación | septiembre 2003 |
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| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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