Mechanical behaviour of amorphous W–Si–N sputtered films after thermal annealing at increasing temperatures

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Albano Cavaleiro  C. Louro
Fecha de publicación	enero 2000
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata