Sidewall passivation assisted by a silicon coverplate during Cl[sub 2]–H[sub 2] and HBr inductively coupled plasma etching of InP for photonic devices

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Gilles Patriarche
Fecha de publicación	2008
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Desconocido
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata