Fine Tuning of Lithographic Masks through Thin Films of PS-b-PMMA with Different Molar Mass by Rapid Thermal Processing
| Imagen |  |
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| Descripción | artículo científico publicado en 2014 |
| Autoría |
autor: Oriano Francescangeli Valentina Gianotti Federico Ferrarese Lupi Michele Perego Katia Sparnacci Tommaso Jacopo Giammaria Diego Antonioli Gabriele Seguini Michele Laus |
| Fecha de publicación | 7 de mayo de 2014 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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