High resolution-high energy x-ray photoelectron spectroscopy using third-generation synchrotron radiation source, and its application to Si-high k insulator systems
| Imagen |  |
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Yasutaka Takata Makina Yabashi Takashi Tokushima Shik Shin Osamu Nakatsuka Kenji Tamasaku Tetsuya Ishikawa Kensuke Kobayashi |
| Fecha de publicación | 4 de agosto de 2003 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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