Aerosol-Assisted Chemical Vapor Deposition of NbS2 and TaS2 Thin Films from Pentakis(dimethylamido)metal Complexes and 2-Methylpropanethiol

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Autoría	autor: Claire J. Carmalt  Ivan P Parkin
Fecha de publicación	octubre 2005
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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