Damage profiles in as-implanted 〈100〉 Si crystals: strain by X-ray diffractometry versus interstitials by RBS-channeling

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Descripción
Autoría	autor: M Bianconi  Roberta Nipoti  Silvia Milita
Fecha de publicación	diciembre 1996
Idioma
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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