Effect of a halogen-based precursor on dopant incorporation in 3C-SiC film epitaxy
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Luigi Cristofolini Davide Orsi Marco Negri G Salviati |
| Fecha de publicación | 15 de mayo de 2017 |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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