Creation of guiding patterns for directed self-assembly of block copolymers by resistless direct e-beam exposure
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Matteo Lorenzoni Jordi Fraxedas Francesc Pérez-Murano Xavier Borrisé |
| Fecha de publicación | 21 de septiembre de 2015 |
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| País de origen | |
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