In-Situ Grazing Incidence Small-Angle X-ray Scattering Studies on Nanopore Evolution in Low-kOrganosilicate Dielectric Thin Films

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Autoría	autor: Byeongdu Lee  Kyuyoung Heo  Jinhwan Yoon
Fecha de publicación	abril 2005
Idioma
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Estatus de derecho de autor	Desconocido
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