Suppression of subcutaneous oxidation during the deposition of amorphous lanthanum aluminate on silicon
| Imagen |  |
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Matt Copel Yves Chabal Susanne Stemmer Jürgen Schubert Darrell G. Schlom |
| Fecha de publicación | 7 de junio de 2004 |
| Idioma | inglés |
| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Private domain |
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