Impact of molecular structure of polymer in 193nm resist performance
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Christophe A Serra Guy Schlatter Raluca Tiron Cyril Brochon |
| Fecha de publicación | abril 2009 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |