{1 0 0}-Textured, piezoelectric Pb(Zrx, Ti1−x)O3 thin films for MEMS: integration, deposition and properties

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Marco Cantoni  Nava Setter
Fecha de publicación	julio 2003
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata