Depth redistribution of components of SiOx layers prepared by magnetron sputtering in the process of their decomposition
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Larysa Khomenkova N. Korsunska Tatyana R Stara Cinzia Sada |
| Fecha de publicación | junio 2007 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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