The effect of plasma immersion ion implantation on the contact pressure and composition of titanium nitride thin films

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Marcela Bilek
Fecha de publicación	septiembre 2006
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata