Efficient methods of nanoimprint stamp cleaning based on imprint self-cleaning effect
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|---|---|
| Descripción | artículo científico publicado en 2011 |
| Autoría |
autor: Ivan Maximov Hongqi Xu Lars Montelius |
| Fecha de publicación | 17 de marzo de 2011 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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