Characterization of hydrogenated silicon carbide produced by plasma enhanced chemical vapor deposition at low temperature
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| Descripción | |
| Autoría |
autor: Luca Stringhetti Giovanni Pareschi Mauro Ghigo Daniele Spiga Stefano Basso |
| Fecha de publicación | 13 de septiembre de 2007 |
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| País de origen | |
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| Estatus de derecho de autor | Desconocido |
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