Particle-in-cell/Monte Carlo simulations of a low-pressure capacitively coupled radio-frequency discharge: Effect of adding H2 to an Ar discharge

Imagen
Descripción
Autoría	autor: Annemie Bogaerts  Erik C. Neyts
Fecha de publicación	mayo 2003
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata