Numerical study of Ar/CF4/N2 discharges in single- and dual-frequency capacitively coupled plasma reactors

Imagen
Descripción
Autoría	autor: V. Georgieva  Annemie Bogaerts
Fecha de publicación	15 de septiembre de 2003
Idioma
País de origen
Enlace a Wikipedia
Estatus de derecho de autor	Private domain
¿Datos faltantes/errados?	Editar ítem de Wikidata