Sputter deposition of MgxAlyOzthin films in a dual-magnetron device: a multi-species Monte Carlo model

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Descripción
Autoría	autor: Annemie Bogaerts  Maksudbek Yusupov
Fecha de publicación	20 de julio de 2012
Idioma	inglés
País de origen
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Estatus de derecho de autor	Private domain
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