Growth and Characterization of BeO Thin Films Grown by Atomic Layer Deposition Using H2O and O3 as Oxygen Sources
| Imagen |  |
|---|---|
| Descripción | |
| Autoría |
autor: Cheol Seong Hwang Christopher Bielawski Sangtae Kim Seong Keun Kim |
| Fecha de publicación | 7 de agosto de 2017 |
| Idioma | |
| País de origen | |
| Enlace a Wikipedia | |
| Estatus de derecho de autor | Private domain |
| ¿Datos faltantes/errados? | Editar ítem de Wikidata |